Optics Japan 2004
4pB3 氏家 知子
Field-Zernike関数に対する最適な測定点の決定
投影レンズの結像性能を評価するために、像面の分布まで拡張した波面収差を表現するFieldZernike関数が提案されている。この関数に対して最適な像面内の測定点をしめす。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics