Optics Japan 2004
5aAS2 井本 克之
電子線直接描画による低損失ガラス導波路型光回路の形成
低損失ガラス導波路のパターン形成方法を検討し、開発した大面積電子線直接描画法が紫外線露光法よりも導波路コア層の側面荒れを小さくパターニングすることができ、これにより低損失ガラス導波路を実現することができた。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics