Optics Japan 2004



5aG3 大村 陽一

位相格子によるグレーティングイメージ

変位計測の一手法として用いられるグレーティングイメージ(三格子法)において、Pupil面に位相格子を適用した。OTFによる解析と実機検証を行い、60%以上の像コントラストと光利用効率の改善を確認した。



Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics