Optics Japan 2004
5aG4 北條 仁士
ファブリー・ペロー干渉法を用いた薄膜物質計測
ミリ波帯から紫外線域の電磁波を用いて，ファブリー・ペロー干渉法の原理を応用した半導体薄板や金属薄膜の物性定数計測法（例えば，伝導電子密度等）について報告する。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics