Optics Japan 2004
5aP11 清水 亮憲
半導体レーザーのパワー変動に不感な位相シフト・フィゾー干渉法
新たに開発した波長シフトアルゴリズムは、半導体レーザー(LD)を用いたフィゾー干渉計の多重干渉ノイズを抑制することができる。この位相シフトアルゴリズムはLDの電流の変化によるパワーの変動に不感である。多重干渉の位相誤差を伴わない表面形状の測定結果が示される。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics