Optics Japan 2004
5pG8 岩田 耕一
多方向干渉計による位置決めステージの位置・姿勢計測(システムパラメータの校正)
３次元空間の6自由度の位置決めステージの位置･姿勢の計測方法として提案されている多方向干渉計法について、システムパラメータを干渉計の測定値のみから求める方法を提案し、２次元ステージについて、シミュレーションと実験によりその有効性を示した。,
Optical Society Of Japan
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