Optics Japan 2004
5pE10 中田 俊彦
１つの光熱変位インタフェログラムを用いた実時間表面・内部構造イメージング
並列光熱変位法によって生成された空間・周波数多重化インタフェログラムから、表面情報と内部情報を分離独立して実時間イメージングする手法を提案し、実験的に検証した。試料の高感度・複合検査に有効である。
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics