Optics Japan 2004
5pG5 天神林 孝二
表面欠陥検査用干渉計
一般に板材上のきずなどの表面欠陥を広い領域にわたって、非接触で、高速に検査する干渉計の提案と、その基礎実験について報告する。,
Optical Society Of Japan
An Affiliate of the Japan Society of Applied Physics