Optics Japan 2004



5pH11 藤井 義樹

高フォトンレーザアブレーションによる微細加工技術

高フォトンエネルギーを有するArFレーザにより、試料を確実にイオン化する超微細アブレーション技術に関して、集光径内の十分な光強度を有する領域のみを試料照射して熱溶融現象を抑止する手法について報告する。,



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